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: 退火炉的设计方案及解析

快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。

: 退火炉的维修注意事项有哪些？

苏州中门子退火炉经过长期使用，后期可能会存在一些或大或小的使用问题，经过统计汇总，把快速退火炉维修需要注意的事项进行汇总，仅供维修参考：

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